[发明专利]带低反射膜的透明基板、光电转换装置、用于形成带低反射膜的透明基板的低反射膜的涂覆液和带低反射膜的透明基板的制造方法有效

专利信息
申请号: 201880026906.7 申请日: 2018-04-19
公开(公告)号: CN110546117B 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 小用瑞穗;中泽达洋;河津光宏 申请(专利权)人: 日本板硝子株式会社
主分类号: C03C17/25 分类号: C03C17/25;G02B1/111;H01L31/0392
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴克鹏
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的带低反射膜的透明基板包含透明基板、和在透明基板的至少一个主表面形成的低反射膜。低反射膜为利用以二氧化硅为主成分的粘结剂将实心球状且平均粒径为80~150nm的二氧化硅微粒固定而成的多孔膜。粘结剂还包含铝化合物。低反射膜中的成分的含有率以质量%表示为:二氧化硅微粒55%~70%、粘结剂中的二氧化硅25%~40%、将铝化合物换算为Al2O30.1%~1.5%、有机成分0.25%~3%。低反射膜的膜厚为80~800nm。带低反射膜的透明基板在波长区域380~850nm的平均透射率相对于未形成低反射膜的状态的透明基板在波长区域380~850nm的平均透射率的增量被定义为透射率增益,该透射率增益为2.5%以上。上述有机成分包含选自β酮酸酯和β二酮中的至少任一者。
搜索关键词: 反射 透明 光电 转换 装置 用于 形成 涂覆液 制造 方法
【主权项】:
1.一种带低反射膜的透明基板,其包含:透明基板、和在所述透明基板的至少一个主表面形成的低反射膜,/n所述低反射膜是利用以二氧化硅为主成分的粘结剂将实心球状且平均粒径为80nm~150nm的二氧化硅微粒固定而成的多孔膜,/n所述粘结剂还包含铝化合物,/n所述低反射膜中的成分的含有率以质量%表示为:/n /n所述低反射膜的膜厚为80nm~800nm,/n所述带低反射膜的透明基板在波长区域380nm~850nm的平均透射率相对于未形成所述低反射膜的状态的所述透明基板在波长区域380nm~850nm的平均透射率的增量被定义为透射率增益,该透射率增益为2.5%以上,/n所述有机成分包含选自β酮酸酯和β二酮中的至少任一者。/n
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