[发明专利]远场纳米级超分辨全场光学计量系统和方法在审
| 申请号： | 201880023855.2 | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN110770534A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 保罗·蒙哥马利;西尔万·勒克莱;斯蒂芬妮·佩兰;奥黛丽·梁-荷伊 | 申请（专利权）人： | 斯特拉斯堡大学;法国国家科学研究中心 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B9/04;G02B21/00 |
| 代理公司： | 11413 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 谢攀;刘继富 |
| 地址： | 法国斯*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种用于在远场纳米级上传递样品或物体(6)的表面形貌信息的超分辨率全场光学计量系统，该系统包括：光源(2)；干涉仪(1a、1b、1c、1d)，其包括参考臂和物体臂，参考臂包含微球(9)和镜子(10)，物体臂包括类似于微球(9)的微球(7)并且紧邻物体(6)的表面(22)布置；接收装置(5)，其用于捕获干涉图；以及用于处理这些干涉图以生成表面形貌信息的装置。光源(2)是时间相干或部分相干的。干涉仪和用于处理干涉图的装置被设计成通过相移干涉法重建物体(6)的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉图 微球 表面形貌信息 参考臂 干涉仪 相干 光源 光学计量系统 超分辨率 相移干涉 纳米级 远场 捕获 镜子 传递 重建 | ||
【主权项】：
1.一种用于在远场纳米级上传递样品或物体(6)的表面形貌信息的超分辨率全场光学计量系统，所述系统包括：光源(2)，其相干或部分相干；干涉仪(1a、1b、1c、1d)，其包括物体臂和参考臂，所述物体臂包含透明微球(7)并紧邻物体(6)的表面设置，所述参考臂包括镜子(10)；接收装置(5)，用于捕获干涉图；以及用于处理所述干涉图以生成所述表面形貌信息的装置(8)，/n所述干涉仪(1a、1b、1c、1d)和用于处理干涉图的所述装置(8)设置成通过相移干涉法重建所述物体(6)的形貌。/n
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