[发明专利]基于轮廓的缺陷检测有效
| 申请号： | 201880023809.2 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN110494894B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | A·古普塔;M·马哈德凡;S·梵卡泰若曼;海东·杨;L·卡尔森迪;Y·卡蒙;N·布基希;U·达尼诺 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/13;G06N3/04;G06N3/08;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供用于检测形成于样品上的图案中的缺陷的方法及系统。一个系统包含通过一或多个计算机子系统执行的一或多个组件，且所述组件包含第一基于学习的模型及第二基于学习的模型。所述第一基于学习的模型基于所述样品的设计产生所述图案的仿真轮廓，且所述模拟轮廓是通过成像子系统产生的所述样品的图像中的所述图案的无缺陷版本的预期轮廓。所述第二基于学习的模型经配置用于产生形成于所述样品上的所述图案的至少一个所获取图像中的所述图案的实际轮廓。所述计算机子系统经配置用于比较所述实际轮廓与所述模拟轮廓且基于所述比较的结果检测形成于所述样品上的所述图案中的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 轮廓 缺陷 检测 | ||
【主权项】：
1.一种经配置以检测形成于样品上的图案中的缺陷的系统，其包括：/n成像子系统，其包括至少能量源及检测器，其中所述能量源经配置以产生引导到样品的能量，且其中所述检测器经配置以从所述样品检测能量且响应于所述所检测能量产生图像；及/n一或多个计算机子系统，其经配置用于获取形成于所述样品上的图案的所述图像；及/n一或多个组件，其通过所述一或多个计算机子系统执行，其中所述一或多个组件包括第一基于学习的模型及第二基于学习的模型，其中所述第一基于学习的模型经配置用于通过所述一或多个计算机子系统基于输入到所述第一基于学习的模型的所述样品的设计产生所述图案的模拟轮廓，其中所述模拟轮廓是通过所述成像子系统产生的所述样品的所述图像中的所述图案的无缺陷版本的预期轮廓，且其中所述第二基于学习的模型经配置用于通过所述一或多个计算机子系统产生输入到所述第二基于学习的模型的形成于所述样品上的所述图案的所述所获取图像中的至少一者中的所述图案的实际轮廓；且/n其中所述一或多个计算机子系统经进一步配置用于：/n比较所述实际轮廓与所述模拟轮廓；及/n基于所述比较的结果检测形成于所述样品上的所述图案中的缺陷。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880023809.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于FFR的对非侵入性成像的交互监测
- 下一篇：使用稀疏体积数据的渲染操作
