[发明专利]位置检测装置和位置检测方法有效
申请号: | 201880023267.9 | 申请日: | 2018-03-01 |
公开(公告)号: | CN110494716B | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 成田哲也;藤田雅博 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | G01D5/245 | 分类号: | G01D5/245 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王萍;唐明英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | [问题]为了抑制由加工误差等引起的信号失真的影响。[解决方案]提供了一种位置检测装置,包括:参考位置计算单元,其基于第一信号和第二信号来计算移动体的参考位置,所述第一信号是从移动体的具有预定周期的标度的第一轨道检测到的,并且所述第二信号是从移动体的具有比预定周期少的周期的标度的第二轨道检测到的;狭缝指定单元,其基于参考位置来指定通过划分移动体的移动范围而获得的多个狭缝中的与移动体的位置相对应的狭缝;狭缝内位置计算单元,其基于第一信号来计算移动体在所指定的狭缝内的狭缝内位置;以及校正单元,其基于移动体的绝对位置和参考位置对绝对位置进行校正,该绝对位置是基于指定的狭缝和狭缝内位置而计算出的。 | ||
搜索关键词: | 位置 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种位置检测装置,包括:/n参考位置计算单元,其基于第一信号和第二信号来计算移动体的参考位置,所述第一信号是从设置在所述移动体上的并且具有预定周期的标度的第一轨道检测到的,并且所述第二信号是从设置在所述移动体上的并且具有少于所述预定周期的周期的标度的第二轨道检测到的;/n狭缝指定单元,其基于所述参考位置来指定多个狭缝中的与所述移动体的位置相对应的狭缝,所述多个狭缝是通过划分所述移动体的移动范围而获得的;/n狭缝内位置计算单元,其基于所述第一信号来计算所述移动体在所指定的所述狭缝中的狭缝内位置;以及/n校正单元,其基于所述移动体的绝对位置和所述参考位置来校正所述绝对位置,所述绝对位置是基于所指定的所述狭缝和所述狭缝内位置而计算出的。/n
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