[发明专利]用于物体的显微成像的显微镜和方法

摘要

本发明涉及一种用于对物体(12)成像的方法和显微镜(10)，所述显微镜包括：透镜组件(14)，所述透镜组件限定光学轴线和与其垂直的焦平面；和校正光学器件(32)，所述校正光学器件是可调节的以调节至一深度位置，并且所述校正光学器件校正在所述透镜组件(14)上的球面像差，所述球面像差在所述焦平面的某一深度位置处在所述物体(12)的成像期间发生。所述方法包括以下步骤：确定来自所述物体(12)的第一横向区域(40)和第二横向区域(42)的辐射的相位差；使用所述相位差与由此引起的球面像差的修改之间的先前已知连接，以便确定所述校正光学器件(32)的调节值，使得当对所述第二区域(42)成像时减小所述球面像差。

主权项

1.一种用于对物体(12)成像的方法，其中使用显微镜(10)，所述显微镜(10)包括：物镜(14)，所述物镜(14)限定光学轴线和与所述光学轴线垂直的焦平面；和校正光学单元(32)，所述校正光学单元(32)出于匹配目的能够调节到一深度位置，并且所述校正光学单元(32)校正所述物镜(14)处的球面像差，其中所述校正光学单元(32)的设定适用于所述焦平面的某一深度位置，并且其中所述方法包括以下步骤：/n用辐射照射所述物体(12)，/n捕获由所述物体(12)反射或透射的辐射，/n在所述物体(12)的第一横向区域(40)和第二横向区域(42)中执行定量相位衬度成像，并且确定来自所述物体(12)的第一横向区域(40)和所述第二横向区域的辐射的相位差(42)，其中已知所述物体(12)在所述第一横向区域(40)中针对所述焦平面的成像的球面像差，或者已知所述物体(12)在所述第一横向区域(40)中的折射率(40)，或者已知校正光学单元(32)用于校正所述球面像差所需的设定，/n使用预先已知的、所述相位差与由所述相位差引起的球面像差的改变之间的关系，以便确认所述校正光学单元(32)的设定值，使得所述第二横向区域(42)中的球面像差减小，和/n将所述校正光学单元(32)设定为所述设定值，并且在所述第二横向区域(42)中对所述物体(12)成像。/n