[发明专利]感光性树脂组合物、蚀刻方法及镀敷方法在审

专利信息
申请号: 201880015877.4 申请日: 2018-03-08
公开(公告)号: CN110366705A 公开(公告)日: 2019-10-22
发明(设计)人: 入泽宗利;梶谷邦人;丰田裕二 申请(专利权)人: 三菱制纸株式会社
主分类号: G03F7/027 分类号: G03F7/027;C08F2/48;C08F2/50;C08F290/06;C08J7/04;G03F7/031;H05K3/06;H05K3/18
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 童春媛;梅黎
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 感光性树脂组合物以及使用所述感光性树脂组合物的蚀刻方法和镀敷方法,所述感光性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂和(C)丙烯酸酯单体,也可进一步含有(D)甲基丙烯酸酯单体,所述(C)丙烯酸酯单体含有(C1)双键当量为250以上的丙烯酸酯单体和(C2)双键当量为150以下的丙烯酸酯单体,相对于所述(C)丙烯酸酯单体,(D)甲基丙烯酸酯单体的含量为0~5质量%,(C1)双键当量为250以上的丙烯酸酯单体的含量为40~60质量%,(C2)双键当量为150以下的丙烯酸酯单体的含量为40~60质量%,相对于感光性树脂组合物,所述(B)光聚合引发剂的含量为0.5~1.5质量%。
搜索关键词: 丙烯酸酯单体 感光性树脂组合物 双键当量 甲基丙烯酸酯单体 光聚合引发剂 蚀刻 镀敷 碱可溶性树脂
【主权项】:
1.感光性树脂组合物,其特征在于,含有(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂和(C)丙烯酸酯单体,也可进一步含有(D)甲基丙烯酸酯单体,所述(C)丙烯酸酯单体含有(C1)双键当量为250以上的丙烯酸酯单体和(C2)双键当量为150以下的丙烯酸酯单体,相对于所述(C)丙烯酸酯单体,(D)甲基丙烯酸酯单体的含量为0~5质量%,(C1)双键当量为250以上的丙烯酸酯单体的含量为40~60质量%,(C2)双键当量为150以下的丙烯酸酯单体的含量为40~60质量%,相对于感光性树脂组合物,所述(B)光聚合引发剂的含量为0.5~1.5质量%。
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