[发明专利]多柱扫描式电子显微镜系统有效
| 申请号： | 201880015469.9 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN110383416B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | R·海恩斯;A·韦尔克;M·纳赛尔-古德西;J·格尔林;T·普勒特纳 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种多柱扫描式电子显微镜SEM系统，其包含柱组合件，其中所述柱组合件包含第一衬底阵列组合件及至少一第二衬底阵列组合件。所述系统还包含源组合件，所述源组合件包含：两个或两个以上照明源，其经配置以产生两个或两个以上电子束；及两组或两组以上多个定位器，其经配置以在多个方向上调整所述两个或两个以上照明源的特定照明源的位置。所述系统还包含经配置以固定样本的载物台，其中所述柱组合件将所述两个或两个以上电子束的至少一部分引导到所述样本的一部分上。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 系统 | ||
【主权项】：
1.一种衬底阵列，其包括：复合衬底，其由多个衬底层形成，其中所述复合衬底包含多个孔；多个电组件，其嵌入所述多个衬底层内；至少一个接地接合垫，其耦合到所述复合衬底的顶面或底面中的至少一者；至少一个信号接合垫，其耦合到所述复合衬底的所述顶面或所述底面中的至少一者；及多个柱电子光学元件，其中所述多个柱电子光学元件定位于所述复合衬底中的所述多个孔上方，其中所述多个柱电子光学元件中的每一者接合到耦合到所述复合衬底的所述顶面或所述底面中的至少一者的特定接地接合垫及特定信号接合垫。
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