[发明专利]化学增幅型光致抗蚀剂组合物、光致抗蚀剂图案和用于制备光致抗蚀剂图案的方法有效
| 申请号： | 201880012894.2 | 申请日： | 2018-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN110325915B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 林敏映;金智慧;金容美 | 申请（专利权）人： | 株式会社LG化学 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/039;G03F7/20;C07D221/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵丹;蔡胜有 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及化学增幅型光致抗蚀剂组合物、由所述化学增幅型光致抗蚀剂组合物产生的光致抗蚀剂图案、以及用于制备化学增幅型光致抗蚀剂图案的方法，所述化学增幅型光致抗蚀剂组合物包含碱溶性树脂和具有预定结构的聚合物光致产酸剂。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 增幅 型光致抗蚀剂 组合 光致抗蚀剂 图案 用于 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种化学增幅型光致抗蚀剂组合物，包含：第一碱溶性树脂；和聚合物光致产酸剂，其中光致产酸基团通过含有C1‑20硫化亚烷基的官能团与第二碱溶性树脂连接。
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