[发明专利]包括拓扑绝缘体材料的电互连有效
| 申请号： | 201880011361.2 | 申请日： | 2018-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN110291630B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | C·保利 | 申请（专利权）人： | IEE国际电子工程股份公司 |
| 主分类号： | H01L23/532 | 分类号： | H01L23/532;H01L21/768 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘炳胜 |
| 地址： | 卢森堡埃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及电互连(1)。为了在小尺寸结构中和高频率情况下提供用于有效地传导电流的手段，本公开提供一种具有沟道部分(50)的电互连，该沟道部分(50)包括至少一个沟道层(10)，该沟道层由弱拓扑绝缘体材料制成并具有顶表面(11)，该顶表面具有从电互连(1)的第一端(2)延伸到第二端(4)的多个凹槽(12)，其中顶表面(11)和每个凹槽(12)的底表面(12.2)是绝缘的，而每个凹槽(12)的每个侧表面(12.1)包括具有一对拓扑保护的一维电子沟道(15)的导电区(14)。该电互连包括拓扑绝缘体材料。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 拓扑 绝缘体 材料 互连 | ||
【主权项】：
1.一种具有沟道部分(50)的电互连(1)，所述沟道部分(50)包括由弱拓扑绝缘体材料或任何其他三维拓扑绝缘体材料制成的至少一个沟道层(10)，所述弱拓扑绝缘体材料或任何其他三维拓扑绝缘体材料呈现拓扑保护的一维电子沟道，并且所述至少一个沟道层(10)包括具有从所述电互连(1)的第一端子(2)延伸到第二端子(4)的多个凹槽(12)的顶表面(11)，其中，所述顶表面(11)和每个凹槽(12)的底表面(12.2)都是绝缘的，而每个凹槽(12)的每个侧表面(12.1)包括具有一对拓扑保护的一维电子沟道(15)的导电区(14)。
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