[发明专利]用于带电粒子检测的方法和装置有效
| 申请号： | 201880010544.2 | 申请日： | 2018-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN110383415B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 王勇新;任伟明;董仲华;陈仲玮 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了用于带电粒子检测的系统和方法。检测系统包括信号处理电路(502)，该信号处理电路(502)被配置为基于从多个电子感测元件(244)接收的电子强度数据来生成一组强度梯度。检测系统进一步包括束斑处理模块(506)，该束斑处理模块(506)被配置为：基于一组强度梯度来确定束斑的至少一个边界；以及基于所述至少一个边界来确定多个电子感测元件中的第一组电子感测元件在束斑内。束斑处理模块可以进一步被配置为：基于从第一组电子感测元件接收的电子强度数据来确定束斑的强度值，并且还基于强度值来生成晶片的图像。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 带电 粒子 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种检测系统，包括：信号处理电路，被配置为基于从多个电子感测元件接收到的电子强度数据来生成一组强度梯度；以及束斑处理模块，被配置为：基于所述一组强度梯度来确定束斑的至少一个边界；以及基于所述至少一个边界来确定所述多个电子感测元件中的第一组电子感测元件在所述束斑内。
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