[发明专利]平面的定位装置

摘要

具有三个自由度(X，Y，Rz)的平面的定位装置包括具有平坦的支承表面的静态的基座和可动平台。平台可在XY平面内在支承表面上方运动。可动平台包括空气轴承并且通过所述空气轴承在不与基座的支承表面接触的情况下被支撑。该装置包括在X方向上作用的线性马达和在Y方向上作用的线性马达，以及在X方向或Y方向上作用的至少一个附加线性马达。每个线性马达包括设置在可动平台上的磁体组件和设置在基座上的线圈组件。基座包括在X方向上延伸的滑块轨道和在Y方向上延伸的滑块轨道。在X方向上作用的线性马达的线圈组件设置在可沿着在Y方向上延伸的滑块轨道运动并在Y方向上联接至平台的滑块上。在Y方向上作用的线性马达的线圈组件设置在可沿着在X方向上延伸的滑块轨道运动并在X方向上联接至平台的滑块上。滑块各自具有设置在其上的磁阻致动器，该磁阻致动器被配置和设置成与可动平台上的(铁)磁性材料配合，使得滑块跟随平台的运动。

主权项

1.一种平面的定位装置，其具有三个自由度(X，Y，R_z)并且包括：‑具有平坦的支承表面的静态的基座；‑可动平台，其能通过电磁驱动装置在平行于所述支承表面的XY平面内在所述基座的所述支承表面上方运动，其中所述XY平面由正交方向X和Y限定，并且所述可动平台包括空气轴承并且通过所述空气轴承在不与所述基座的所述支承表面接触的情况下被支撑；其中：所述电磁驱动装置包括在X方向上作用的线性马达和在Y方向上作用的线性马达，以及在X方向或Y方向上作用的至少一个附加线性马达，每个所述线性马达包括设置在所述可动平台上的磁体组件以及设置在所述基座上的线圈组件，并且所述基座包括在X方向上延伸的滑块轨道和在Y方向上延伸的滑块轨道，其中在X方向上作用的一个或多个线性马达的线圈组件设置在能沿着在Y方向上延伸的滑块轨道运动并在Y方向上联接至所述平台的滑块上，并且在Y方向上作用的一个或多个线性马达的线圈组件设置在能沿着在X方向上延伸的滑块轨道运动并在X方向上联接至所述平台的滑块上，其特征在于，所述滑块各自具有设置在其上的磁阻致动器，所述磁阻致动器被配置和设置成与在所述可动平台上的(铁)磁性材料配合，使得所述滑块跟随所述平台的运动。