[发明专利]用于溅射线圈的颗粒捕集器及其制造方法在审
| 申请号： | 201880006646.7 | 申请日： | 2018-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN110225996A | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·L·科赫;安德鲁·N·A·雷格 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文公开了一种包括颗粒捕集器的溅射室部件，该颗粒捕集器包括在溅射室部件的表面的至少一部分上形成的图案化宏观纹理。图案化宏观纹理具有凹痕，该凹痕具有深度并且按重复图案布置。图案化宏观纹理具有沿第一方向延伸的第一线，第一线形成将相邻凹痕沿第二方向分离的侧壁。图案化宏观纹理具有沿第二方向延伸的第二线。第二方向与第一方向成大于0度且小于180度的角度，第二线形成将相邻凹痕沿第一方向分离的侧壁。图案化宏观纹理具有在图案化宏观纹理上形成的随机图案微观纹理；微观纹理的高度小于凹痕的深度。 | ||
| 搜索关键词： | 宏观纹理 图案化 凹痕 颗粒捕集器 方向延伸 微观纹理 溅射室 侧壁 第一线 随机图案 重复图案 线形成 射线 制造 | ||
【主权项】：
1.一种溅射室部件，所述溅射室部件包括颗粒捕集器，所述颗粒捕集器包括：图案化宏观纹理，所述图案化宏观纹理在所述溅射室部件的表面的至少一部分上形成，所述图案化宏观纹理具有：凹痕，所述凹痕具有深度并且按重复图案布置；第一线，所述第一线沿第一方向延伸，所述第一线形成将相邻凹痕沿第二方向分离的侧壁；以及第二线，所述第二线沿所述第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向成大于0度且小于180度的角度，所述第二线形成将相邻凹痕沿所述第一方向分离的侧壁；以及随机图案微观纹理，所述随机图案微观纹理在所述图案化宏观纹理上形成，所述微观纹理的高度小于所述凹痕的深度。
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