[发明专利]高阻尼RC格构梁和具有高阻尼RC格构梁的底部结构有效
| 申请号： | 201880000725.7 | 申请日： | 2018-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN109996925B | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 朴赞圭;安相庆;金容九;卢弦燮;李恩石;柳莹奇;田炳甲;郑在恩 | 申请（专利权）人： | 三星物产株式会社 |
| 主分类号： | E04B5/04 | 分类号： | E04B5/04;E04B5/08 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 魏嘉熹;南毅宁 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明具体涉及一种可极大地抑制振动传递的钢筋混凝土格构梁。由于该钢筋混凝土格构梁中包含的混凝土为含有聚合物的聚合物混凝土，因此可有效抑制能另外影响曝光装置的精细级振动，而传统的格构梁的深度可保持不变。因此，提供了一种高阻尼钢筋混凝土格构梁，通过降低缺陷率并提高生产力，使精密曝光装置的性能得以最大化。 | ||
| 搜索关键词： | 阻尼 rc 格构梁 具有 底部 结构 | ||
【主权项】：
1.一种高阻尼钢筋混凝土格构梁，用于形成半导体工厂的地板的板坯，其中，包括在所述格构梁中的混凝土被设计为具有大于15％的阻尼比。
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