[实用新型]一种晶体硅太阳能电池的退火装置

摘要

本实用新型涉及太阳能电池加工技术领域，公开了一种晶体硅太阳能电池的退火装置，包括托盘、传输装置、多个工艺腔、平板电极、电源及控制系统，其中，托盘包括至少两层支撑单元，每层支撑单元能够盛放至少一叠电池片叠层，相邻的支撑单元之间串联连接，以使各电池片叠层之间实现串联连接；各工艺腔沿传输装置的传输方向依次设置，传输装置能够输送托盘依次穿过各工艺腔；各工艺腔包括至少一个用于电注入及温度模块化控制的退火腔及至少一个用于快速冷却的冷却腔；平板电极设于退火腔内并与电源电连接，且平板电极能够在传动装置的驱动下电连接托盘，使各电池片叠层与平板电极构成回路；控制系统电连接传输装置、平板电极及传动装置。

主权项

1.一种晶体硅太阳能电池的退火装置，其特征在于，包括托盘(10)、传输装置(20)、多个工艺腔(30)、平板电极(40)、电源(50)及控制系统，其中：所述托盘(10)包括至少两层支撑单元(11)，每层所述支撑单元(11)能够盛放至少一叠电池片叠层(70)，相邻的所述支撑单元(11)之间串联连接，以使各所述电池片叠层(70)之间实现串联连接；各所述工艺腔(30)沿所述传输装置(20)的传输方向依次设置，所述传输装置(20)能够输送所述托盘(10)依次穿过各所述工艺腔(30)；各所述工艺腔(30)包括至少一个用于电注入及温度模块化控制的退火腔及至少一个用于快速冷却的冷却腔；所述平板电极(40)可升降地设置于所述退火腔的内部上方，所述平板电极(40)电连接所述电源(50)，且所述平板电极(40)能够在传动装置的驱动下电连接所述托盘(10)，使各所述电池片叠层(70)与所述平板电极(40)构成回路；所述控制系统电连接所述传输装置(20)、所述平板电极(40)及所述传动装置。