[实用新型]防止两端放电的磁控溅射平面阴极装置有效
申请号: | 201822221618.7 | 申请日: | 2018-12-27 |
公开(公告)号: | CN209602633U | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 郝波;周峰;温泉;胡业新 | 申请(专利权)人: | 江苏日久光电股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 苏州科仁专利代理事务所(特殊普通合伙) 32301 | 代理人: | 周斌;陆彩霞 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种防止两端放电的磁控溅射平面阴极装置,包括立式的阴极座、安装靶材的铜背板和固定在阴极座内部两端用于固定铜背板的两个PEEK连接垫板,同时阴极座内在每个PEEK连接垫板内侧均并排固定有一铁氟龙座板,铁氟龙座板上固定有冷却水管进水钢套和出水钢套;PEEK连接垫板与铁氟龙座板均为矩形板;其特征在于阴极座内每端的PEEK连接垫板和铁氟龙座板下方相邻的顶角均为R=8~12mm的圆弧角。本实用新型通过将PEEK连接垫板和铁氟龙座板下方相邻的顶角由直角改为圆弧角,以很小的代价有效消除了这两个部件之间的尖端放电现象,防止阴极装置加电工作时这两个部件烧毁,确保了靶材正常放电,降低了企业损失。 | ||
搜索关键词: | 连接垫板 铁氟龙 座板 阴极座 放电 本实用新型 磁控溅射 平面阴极 圆弧角 靶材 顶角 钢套 尖端放电现象 并排固定 冷却水管 阴极装置 固定铜 矩形板 铜背板 背板 出水 加电 进水 烧毁 | ||
【主权项】:
1.一种防止两端放电的磁控溅射平面阴极装置,包括立式的阴极座(1)、安装靶材的铜背板和固定在阴极座(1)内部两端用于固定铜背板的两个PEEK连接垫板(2),同时阴极座(1)内在每个PEEK连接垫板(2)内侧均并排固定有一铁氟龙座板(3),铁氟龙座板(3)上固定有冷却水管进水钢套(4)和出水钢套(5);PEEK连接垫板(2)与铁氟龙座板(3)均为矩形板;其特征在于阴极座(1)内每端的PEEK连接垫板(2)和铁氟龙座板(3)下方相邻的顶角均为R=8~12mm的圆弧角。
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