[实用新型]一种腔体冷却液自动回收装置有效

专利信息
申请号: 201822189911.X 申请日: 2018-12-25
公开(公告)号: CN209731879U 公开(公告)日: 2019-12-03
发明(设计)人: 陈诚 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: H05K7/20 分类号: H05K7/20
代理公司: 31272 上海申新律师事务所 代理人: 俞涤炯<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开一种腔体冷却液自动回收装置,包括:一回水管路,回水管路为三段式管路,分别由回水管一段、回水管二段、回水管三段组成,回水管一段与上段腔体连接,回水管三段与冷却装置连接,回水管二段的两端分别与回水管一段和回水管三段连接;一抽水泵,抽水泵通过管道分别与回水管一段和回水管三段连接。本实用新型的技术方案有益效果在于:通过改进回水管路,将上段腔体和冷却装置之间的回水管路采用分段式设计,共分为三段,并增加一抽水泵,连接于回水管一段和回水管三段之间,每次维护腔体之前,利用抽水泵将残留在上段腔体内的冷却液回收至冷却装置内,以免造成冷却液不必要的浪费。
搜索关键词: 回水管 三段 回水管路 抽水泵 冷却装置 冷却液 段腔 本实用新型 自动回收装置 分段式 三段式 体连接 腔体 种腔 残留 体内 回收 改进 维护
【主权项】:
1.一种腔体冷却液自动回收装置,其特征在于,包括:/n一回水管路,所述回水管路包括回水管一段、回水管二段、回水管三段;所述回水管一段与一上段腔体连接;所述回水管三段与一冷却装置连接;所述回水管二段连接于所述回水管一段与所述回水管三段之间;/n一抽水泵,所述抽水泵连接于所述回水管一段与所述回水管三段之间。/n
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