[实用新型]一种清理装置有效
| 申请号： | 201822169245.3 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN209798086U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 马坤 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B08B1/00;B08B15/04 |
| 代理公司： | 11662 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种清理装置，涉及工业设备领域。包括：承载架和清洁组件，所述承载架能够在所述真空溅射镀膜设备内移动，所述承载架上设有第一滑道，所述第一滑道上设有第二滑道，所述第二滑道能够沿所述第一滑道往复运动，所述清洁组件设置于所述第二滑道上，所述清洁组件能够沿所述第二滑道往复运动，所述第一滑道与所述第二滑道垂直，所述清洁组件用于对真空溅射镀膜设备内部进行清洁。本实用新型提供的清理装置通过溅射腔室内的进口和出口出入溅射腔室，并在进入溅射腔室后对溅射腔室进行清洁。避免了对溅射腔室进行开腔清洁，既能保证溅射腔室的清洁度，也不会因开腔导致对靶材等造成污染，大大节约了人力物力。 | ||
| 搜索关键词： | 滑道 溅射腔室 清洁组件 承载架 真空溅射镀膜设备 开腔 本实用新型 清理装置 清洁 清洁度 进口和出口 工业设备 人力物力 溅射腔 对靶 垂直 室内 节约 移动 污染 保证 | ||
【主权项】：
1.一种清理装置，设置于真空溅射镀膜设备内部，其特征在于，包括：承载架和清洁组件，所述承载架能够在所述真空溅射镀膜设备内移动，所述承载架上设有第一滑道，所述第一滑道上设有第二滑道，所述第二滑道能够沿所述第一滑道往复运动，所述清洁组件设置于所述第二滑道上，所述清洁组件能够沿所述第二滑道往复运动，所述第一滑道与所述第二滑道垂直，所述清洁组件用于对真空溅射镀膜设备内部进行清洁。/n
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