[实用新型]一种区熔级多晶硅反应器有效
| 申请号： | 201822159881.8 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN209815703U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 张华芹;吴海龙;程佳彪 | 申请（专利权）人： | 上海韵申新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;C30B13/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 31306 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 谢小军 |
| 地址： | 201612 上海市松江区漕河泾开发*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型的一种区熔级多晶硅反应器，反应器包括底盘和炉体，炉体连接在底盘上形成反应器内腔，底盘上设有多个电极、多个进气口和若干出气口，所述电极上设置有硅芯，反应器还包括多个引流器，多个引流器与多个进气口一一对应设置，引流器包括引流管，引流管置于所述反应器内腔中且与进气口连通。本实用新型提供的一种区熔级多晶硅反应器，通过引流器，保证炉内气场均匀分布，工艺气体向底盘上的出气口流动时，在硅芯上沉积硅，通过合理分布引流孔，增加硅芯顶部的进气量，保证硅芯各高度上的温度和反应速度保持一致，这样才能够生长出上下直径一致、圆度佳、表面光滑无菜花、无裂纹的区熔级多晶硅棒。 | ||
| 搜索关键词： | 引流器 底盘 进气口 硅芯 多晶硅反应器 本实用新型 反应器内腔 反应器 电极 出气口 引流管 炉体 一一对应设置 多晶硅棒 工艺气体 速度保持 直径一致 进气量 炉内气 引流孔 沉积 圆度 连通 保证 生长 流动 | ||
【主权项】：
1.一种区熔级多晶硅反应器，所述反应器包括底盘和炉体，炉体连接在底盘上且在炉体与底盘之间限定出反应器内腔，所述底盘上设有多个电极、多个进气口和若干出气口，所述电极上设置有硅芯，其特征在于：所述反应器还包括多个引流器，所述多个引流器与多个进气口一一对应设置，所述引流器包括引流管，所述引流管置于所述反应器内腔中且与进气口连通。/n
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