[实用新型]一种电极杆密封结构及镀膜设备

摘要

本实用新型属于太阳能电池加工技术领域，公开了一种电极杆密封结构及镀膜设备。电极杆密封结构包括电极座法兰及金属法兰，电极杆穿设于电极座法兰上并穿过金属法兰后伸入工艺腔，金属法兰包括可供电极杆穿过的波纹管及分别设置于波纹管两端的第一法兰和第二法兰，第二法兰密封连接于工艺腔的侧壁上，电极座法兰连接于第一法兰，且电极座法兰与第一法兰之间设置有第一密封圈，以将电极杆与工艺腔之间进行密封；第一法兰沿周向环设有若干倾角调节螺钉，倾角调节螺钉连接于第二法兰，通过调节倾角调节螺钉来调节电极杆的倾斜角度，以使电极杆与石墨舟上的电极孔相配合。在调节时不会对第一密封圈造成挤压，能够降低密封圈的老化影响，保证气密性。

主权项

1.一种电极杆密封结构，包括电极座法兰(2)及金属法兰，电极杆(20)穿设于所述电极座法兰(2)上并穿过所述金属法兰后伸入工艺腔(10)，其特征在于，所述金属法兰包括可供所述电极杆(20)穿过的波纹管(11)及分别设置于所述波纹管(11)两端的第一法兰(12)和第二法兰(13)，所述第二法兰(13)密封连接于工艺腔(10)的侧壁上，所述电极座法兰(2)连接于所述第一法兰(12)，且所述电极座法兰(2)与所述第一法兰(12)之间设置有第一密封圈(4)；所述第一法兰(12)沿周向环设有若干倾角调节螺钉(5)，所述倾角调节螺钉(5)连接于所述第二法兰(13)。