[实用新型]低压化学气相沉积炉管和低压化学气相沉积炉

摘要

本实用新型公开一种低压化学气相沉积炉管和低压化学气相沉积炉，包括反应室，以及套设在反应室外的炉管恒温层，反应室内径在230mm至232mm之间，外径在240mm至242mm之间，炉管恒温层为两端开口的空心管状，炉管恒温层内径在258mm至262mm之间，外径在330mm至350mm之间，炉管恒温层内壁绕设炉丝，炉丝可外接电源加热。满足炉管外壁外径在330mm至350mm之间，实现制作最大尺寸产品为6寸硅片，相比现有制作6寸产品的设备，减小炉体体积，解决炉体占地面积大的问题。整个炉体其他系统都维持了原有制作5寸产品的能耗，解决了能耗高的问题。

主权项

1.一种低压化学气相沉积炉管，其特征在于，包括反应室，以及套设在所述反应室外的炉管恒温层，所述反应室的内径在230mm至232mm之间，外径在240mm至242mm之间，所述炉管恒温层为两端开口的空心管状结构，所述炉管恒温层的内径在258mm至262mm之间，外径在330mm至350mm之间，在所述炉管恒温层内壁绕设炉丝，所述炉丝可外接电源加热。