[实用新型]取放载盘的夹具有效
| 申请号： | 201822126254.4 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN209652420U | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 施森荣;陈彦良;大藤彻;谢明达 | 申请（专利权）人： | 捷苙科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 31272 上海申新律师事务所 | 代理人： | 董科<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 中国台湾苗栗*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种取放载盘的夹具，用以取放载置于沉积装置中的载盘。夹具包括夹持部、支撑部、及握把架。夹持部包括传动件；支撑部是用以撑抵沉积装置的炉壁；握把架具有转轴，转轴与支撑部、夹持部机械连接，使支撑部夹设在夹持部与握把架之间，且转轴经由传动件与夹持部机械连接；当支撑部撑抵炉壁时，握把架以转轴为轴心进行转矩在Z轴轴向的旋转，使夹持部在Z轴轴向移动；并转动传动件，使夹持部达到取放宽度，以取放具有圆形凹陷空间的载盘。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持部 取放 握把 转轴 传动件 载盘 支撑 夹具 沉积装置 机械连接 炉壁 本实用新型 圆形凹陷 轴向移动 轴向 转矩 转动 | ||
【主权项】：
1.一种取放载盘的夹具，用以取放载置于沉积装置中的载盘，其特征在于，包括：/n夹持部，包括传动件；/n支撑部，用以撑抵所述沉积装置的炉壁；及/n握把架，具有转轴，所述转轴与所述支撑部、所述夹持部机械连接，使所述支撑部夹设在所述夹持部与所述握把架之间，且所述转轴经由所述传动件与所述夹持部机械连接，其中，/n当所述支撑部撑抵所述炉壁时，所述握把架以所述转轴为轴心进行转矩方向在Z轴轴向的旋转，使所述夹持部在Z轴轴向移动；并转动所述传动件，使所述夹持部达到取放宽度，以取放具有圆形凹陷空间的所述载盘。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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