[实用新型]一种取料装置、上下料机构及供料系统有效
申请号: | 201822126078.4 | 申请日: | 2018-12-18 |
公开(公告)号: | CN209328870U | 公开(公告)日: | 2019-08-30 |
发明(设计)人: | 杨波;沈杰;李波 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种取料装置。所述取料装置包括,安装板;第一调节部,通过第一滑轨连接于安装板,第一滑轨限定第一调节部沿第一方向a运动;第二调节部,通过第二滑轨连接于第一调节部,第二滑轨限定第二调节部相对于第一调节部沿第一方向a运动;所述第二调节部安装有取料部;所述第一调节部安装有第一滚轮和第二滚轮,所述第一滚轮和第二滚轮通过第一皮带连接,所述第一滚轮和第二滚轮之间为第一皮带第一传动部分和第二传动部分;第一皮带第一传动部分通过第一固定部固定于安装板,第一皮带第二传动部分通过第二固定部固定于第二调节部。 | ||
搜索关键词: | 滚轮 传动 取料装置 安装板 皮带 滑轨连接 固定部 滑轨 本实用新型 上下料机构 供料系统 皮带连接 取料 | ||
【主权项】:
1.一种取料装置,其特征在于:所述取料装置(20)包括,安装板(21);第一调节部(22),通过第一滑轨连接于安装板(21),第一滑轨限定第一调节部(22)沿第一方向a运动;第二调节部(23),通过第二滑轨连接于第一调节部(22),第二滑轨限定第二调节部(23)相对于第一调节部(22)沿第一方向a运动;所述第二调节部(23)安装有取料部(24);所述第一调节部(22)安装有第一滚轮(221)和第二滚轮(222),所述第一滚轮(221)和第二滚轮(222)通过第一皮带(223)连接,所述第一滚轮(221)和第二滚轮(222)之间为第一皮带(223)第一传动部分和第二传动部分;第一皮带(223)第一传动部分通过第一固定部(224)固定于安装板(21),第一皮带(223)第二传动部分通过第二固定部(231)固定于第二调节部(23)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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