[实用新型]一种蒸镀坩埚有效
| 申请号： | 201822124190.4 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN209816259U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 邹以慧 | 申请（专利权）人： | 华夏易能(广东)新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 11662 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高新技术产业*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种蒸镀坩埚，其包括坩埚本体和加热部，所述坩埚本体具有容纳腔，所述坩埚本体的顶部设置有至少一个蒸气出口，所述蒸气出口与所述容纳腔连通；所述加热部设置于所述坩埚本体的顶部，所述加热部用于使容纳于所述容纳腔内的材料汽化。采用本申请所提供的蒸镀坩埚能较为精准地控制镀膜中各组分的量，以保证镀膜满足工艺要求。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚本体 加热部 容纳腔 蒸气出口 镀膜 蒸镀 坩埚 汽化 顶部设置 工艺要求 连通 申请 容纳 保证 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：/n坩埚本体，所述坩埚本体具有容纳腔，所述坩埚本体的顶部设置有至少一个蒸气出口，所述蒸气出口与所述容纳腔连通；/n加热部，所述加热部设置于所述坩埚本体的顶部，所述加热部用于使容纳于所述容纳腔内的材料汽化。/n
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