[实用新型]一种用于精密工件加工的真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201822100571.9 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN209522907U | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 张培凤;吴耀峰;张友山 | 申请（专利权）人： | 安徽雅思达汽车装备制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 11588 | 代理人： | 陈建 |
| 地址： | 239300 安徽省滁*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于精密工件加工的真空镀膜装置，包括外壳、圆柱、真空泵、真空泵孔、蒸发加热器、蒸发舟、内凸条、顶板、筛板、筛板孔、外凸条、支架、样品台和玻璃罩，所述外壳的顶部焊接有圆柱，所述圆柱的侧面通过螺柱固定连接有真空泵，所述圆柱的顶部开设有真空泵孔，所述圆柱的顶部通过螺纹固定连接有蒸发加热器和支架，该种用于精密工件加工的真空镀膜装置，通过配件的运用组合，可改变蒸发舟的使用方式，灵活操作，便于按照镀膜要求进行筛板孔的更换，其次上小下大的圆台形状的筛板孔，便于对待镀材料进行蓄能，增加蒸汽的均匀性和连贯性，使结晶完善，膜厚易于控制，保证了镀膜的质量，结构简单，易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 精密工件加工 真空镀膜装置 筛板孔 蒸发加热器 蒸发舟 支架 螺纹固定连接 本实用新型 镀膜要求 螺柱固定 上小下大 使用方式 圆台形状 连贯性 玻璃罩 镀材料 均匀性 可改变 内凸条 外凸条 样品台 镀膜 膜厚 筛板 蓄能 蒸汽 焊接 配件 侧面 灵活 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于精密工件加工的真空镀膜装置，包括外壳（1）、圆柱（5）、真空泵（6）、真空泵孔（7）、蒸发加热器（8）、蒸发舟（9）、内凸条（10）、顶板（11）、筛板（12）、筛板孔（13）、外凸条（14）、支架（15）、样品台（16）和玻璃罩（17），其特征在于：所述外壳（1）的顶部焊接有圆柱（5），所述圆柱（5）的侧面通过螺柱固定连接有真空泵（6），所述圆柱（5）的顶部开设有真空泵孔（7），所述圆柱（5）的顶部通过螺纹固定连接有蒸发加热器（8）和支架（15），所述样品台（16）的顶部与支架（15）的底部粘接，所述蒸发舟（9）的底部与蒸发加热器（8）的顶部接触，所述蒸发舟（9）的圆周内壁粘接有内凸条（10），所述顶板（11）的顶部粘接有筛板（12），所述筛板（12）和筛板孔（13）一体成型，所述顶板（11）的圆周外壁一体成型连接有外凸条（14），所述玻璃罩（17）的圆周外壁底部与圆柱（5）的圆周外壁顶部铆接。
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