[实用新型]一种多波长激光器阵列有效
| 申请号： | 201822052508.2 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN209730440U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 黄长统;薛正群;苏辉;刘阳;吴林福生;杨重英 | 申请（专利权）人： | 深圳市特发信息股份有限公司;中国科学院福建物质结构研究所;福建中科光芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/343 | 分类号： | H01S5/343;H01S5/22;H01S5/40 |
| 代理公司： | 11535 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 姚正阳;张田勇<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例涉及一种多波长激光器阵列，所述阵列包括衬底及在衬底上生长的多个波长不同的选择生长区域外延层，所述选择生长区域外延层自下而上依次包括缓冲层、下波导层、多量子阱、上波导层和覆盖层；在选择生长区域的覆盖层和在选择生长区域以外的区域自下而上依次包括腐蚀停止层、空间层、过渡层和欧姆接触层。该阵列实现了单片上多波长输出的激光器阵列，降低了激光器实际应用成本，减小了体积。 | ||
| 搜索关键词： | 选择生长 覆盖层 外延层 衬底 多波长激光器阵列 本实用新型 腐蚀停止层 激光器阵列 欧姆接触层 多量子阱 上波导层 下波导层 应用成本 阵列实现 激光器 多波长 过渡层 缓冲层 空间层 波长 单片 减小 输出 生长 | ||
【主权项】：
1.一种多波长激光器阵列，其特征在于，包括衬底及在衬底上生长的多个波长不同的选择生长区域外延层，所述选择生长区域外延层自下而上依次包括缓冲层、下波导层、多量子阱、上波导层和覆盖层；在选择生长区域的覆盖层和在选择生长区域以外的区域自下而上依次包括腐蚀停止层、空间层、过渡层和欧姆接触层。/n
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