[实用新型]化学气相沉积系统

摘要

本实用新型公开了一种化学气相沉积系统，其包括依次连接的反应腔、颗粒过滤装置、真空泵和尾气处理装置，所述反应腔还与第一冷却降温装置连接，所述反应腔与颗粒过滤装置之间设置有至少一个第二冷却降温装置，所述第二冷却降温装置包括导气管和冷却机构，所述导气管的两端分别与反应腔、颗粒过滤装置连接，所述冷却机构与所述导气管的外壁导热连接。本实用新型实施例提供的化学气相沉积系统使用和维护方便，其中的冷阱结构可以对反应腔排出的尾气进行降温预处理，从而使大部分尾气中常温状态下的非气态物质全部附着在颗粒过滤器上，以此解决管路堵塞、真空泵损伤的问题，以及排除尾管爆燃的安全隐患。

主权项

1.一种化学气相沉积系统，包括依次连接的反应腔、颗粒过滤装置、真空泵和尾气处理装置，所述反应腔还与第一冷却降温装置连接，其特征在于：所述反应腔与颗粒过滤装置之间设置有至少一个第二冷却降温装置，所述第二冷却降温装置包括导气管和冷却机构，所述导气管的两端分别与反应腔、颗粒过滤装置连接，所述冷却机构与所述导气管的外壁导热连接。