[实用新型]霍尔测量结构有效
| 申请号： | 201822034082.8 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN209460196U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 大藤彻;谢明达 | 申请（专利权）人： | 捷苙科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/72 | 分类号： | G01N27/72 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 董科 |
| 地址： | 中国台湾苗粟*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种霍尔测量结构，包括衬底、设置于衬底上的半导体层、及设置于半导体层上的片电阻感应部、磁场感应部。半导体层具有图案，图案包括电感区、4个焊垫对应区、X字型区、及欧姆接触道，电感区位于X字型区的中心，焊垫对应区两两以电感区为中心，排布在X字型区的对角处；片电阻感应部包括4个焊垫、及待测空间，在第一平面上，每一焊垫覆盖半导体层的每一焊垫对应区；磁场感应部包括待测空间、2个测试垫、及与其中之一测试垫连接的线圈结构，线圈结构环设待测空间的周围，在第一平面上，待测空间曝露出底下的半导体层的电感区；另一测试垫、线圈结构与半导体层的欧姆接触道接触。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体层 焊垫 电感区 线圈结构 测试垫 磁场感应 欧姆接触 感应部 片电阻 衬底 霍尔 测量 本实用新型 图案 对角处 环设 排布 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种霍尔测量结构，其特征在于，包括：衬底；半导体层，设置于所述衬底上，所述半导体层具有图案，所述图案包括电感区、4个焊垫对应区、X字型区、及欧姆接触道，所述电感区位于所述X字型区的中心，所述焊垫对应区两两以所述电感区为中心，排布在所述X字型区的对角处；片电阻感应部，设置于所述半导体层上，包括4个焊垫、及待测空间，在第一平面上，每一所述焊垫覆盖所述半导体层的每一所述焊垫对应区；以及磁场感应部，设置于所述半导体层上，包括所述待测空间、2个测试垫、及与其中之一所述测试垫连接的线圈结构，所述线圈结构环设所述待测空间的周围，在所述第一平面上，所述待测空间曝露出底下的所述半导体层的所述电感区，另一所述测试垫、所述线圈结构与所述半导体层的所述欧姆接触道接触。
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