[实用新型]一种带测量滑轨的光纤白光干涉装置有效
申请号: | 201822020748.4 | 申请日: | 2018-12-04 |
公开(公告)号: | CN208921148U | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
发明(设计)人: | 刘姝仪;沈常宇;张崇 | 申请(专利权)人: | 中国计量大学 |
主分类号: | G01D5/353 | 分类号: | G01D5/353 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种带测量滑轨的光纤白光干涉装置,由宽带LED光源,光纤耦合器,光电探测器,镀膜的光纤反射端,扫描反射镜,带卡托的测量滑轨和倾斜光纤光栅组成;其特征在于:宽带LED光源与光纤耦合器的第一端口相连,光纤耦合器的第二端口与光电探测器相连,光纤耦合器的第三端口刻有倾斜光纤光栅,光纤耦合器的末端为镀膜的光纤反射端,光纤耦合器的第四端口与扫描反射镜固定于带卡托的测量滑轨上;扫描反射镜与测量滑轨的夹角范围为85度至95度可调;光纤耦合器的第三端口的镀膜的光纤反射端镀3‑4纳米厚的金膜;测量滑轨的量程为0‑300mm。 | ||
搜索关键词: | 光纤耦合器 滑轨 测量 扫描反射镜 光纤反射 镀膜 倾斜光纤光栅 光电探测器 白光干涉 带卡 宽带 光纤 本实用新型 金膜 可调 量程 | ||
【主权项】:
1.一种带测量滑轨的光纤白光干涉装置,由宽带LED光源(1),光纤耦合器(2),光电探测器(3),镀膜的光纤反射端(4),扫描反射镜(5),带卡托(6)的测量滑轨(7)和倾斜光纤光栅(12)组成;其特征在于:宽带LED光源(1)与光纤耦合器(2)的第一端口(8)相连,光纤耦合器(2)的第二端口(9)与光电探测器(3)相连,光纤耦合器(2)的第三端口(10)刻有倾斜光纤光栅(12),光纤耦合器(2)的末端为镀膜的光纤反射端(4),光纤耦合器(2)的第四端口(11)与扫描反射镜(5)固定于带卡托(6)的测量滑轨(7)上;扫描反射镜(5)与测量滑轨(7)的夹角范围为85度至95度可调;光纤耦合器(2)的第三端口(10)的镀膜的光纤反射端(4)镀3‑4纳米厚的金膜;测量滑轨(7)的量程为0‑300mm。
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