[实用新型]一种高效活化酸性蚀刻液的装置有效
| 申请号： | 201821995824.7 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN209412325U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 陈丽珊;潘清儒;陈达祁 | 申请（专利权）人： | 珠海市智宝化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/18;H05K3/06;C25C1/12;C25B1/26 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 谢晓华 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市香洲区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高效活化酸性蚀刻液的装置，该装置包括蚀刻系统、电解系统、再生液储槽、多级吸收系统和尾气处理装置；所述蚀刻系统、电解系统、再生液储槽通过管道顺次连接并形成循环回路，所述电解系统产生的氯气通过管道依次通入所述多级吸收系统和尾气处理装置中，所述蚀刻系统的酸性蚀刻液通过管道溢流至所述多级吸收系统中，且所述多级吸收系统中酸性蚀刻液的溢流方向与氯气的流动方向相反；所述多级吸收系统与蚀刻系统通过管道连通，以使活化后的酸性蚀刻液回用至所述蚀刻系统中。该装置通过设置多级吸收系统和气、液逆向回路吸收氯气，对氯气的吸收效果好，再生液回用率高达95％以上，实现了资源最大化循环利用，运行成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 多级吸收 蚀刻系统 酸性蚀刻液 氯气 电解系统 再生液 活化 尾气处理装置 储槽 溢流 流动方向相反 本实用新型 资源最大化 管道连通 顺次连接 循环回路 循环利用 运行成本 蚀刻液 中酸性 回用 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种高效活化酸性蚀刻液的装置，其特征在于：包括蚀刻系统、电解系统、再生液储槽、多级吸收系统和尾气处理装置；所述蚀刻系统、电解系统、再生液储槽通过管道顺次连接并形成循环回路，所述电解系统产生的氯气通过管道依次通入所述多级吸收系统和尾气处理装置中，所述蚀刻系统的酸性蚀刻液通过管道溢流至所述多级吸收系统中，且所述多级吸收系统中酸性蚀刻液的溢流方向与氯气的流动方向相反；所述多级吸收系统与蚀刻系统通过管道连通，以使活化后的酸性蚀刻液回用至所述蚀刻系统中。
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