[实用新型]一种DBC键合夹具有效
申请号: | 201821972447.5 | 申请日: | 2018-11-28 |
公开(公告)号: | CN208819859U | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 臧天程;张茹;姜维宾;金浩;安勇 | 申请(专利权)人: | 烟台台芯电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/603 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 264006 山东省烟台市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种DBC键合夹具,包括承载部,固定部和压盖部。承载部设有底座本体,底座本体上设有气缸,底座本体上端形成有槽体,槽体的中心设有第一真空孔;槽体内部设有固定部。固定部上表面形成有上平面凹槽,固定部下表面形成有下平面凹槽,固定部上方设有压盖部;压盖部上形成有与固定部上平面凹槽对应的打线通口,压盖部边缘设有固定孔。固定在底座上的气缸与上方的压盖部通过固定孔连接固定。本实用新型解决传统的手动固定DBC夹紧力取决于操作员的力量,键合工艺一致性不好问题,解决传统载具只可放置单个DBC,耗费大量人工和时间成本,空间利用率低,不利于大批量生产的问题。 | ||
搜索关键词: | 固定部 压盖 底座本体 本实用新型 键合夹具 固定孔 上平面 槽体 气缸 承载 固定部下表面 空间利用率 槽体内部 键合工艺 连接固定 时间成本 手动固定 上端 传统的 夹紧力 上表面 下平面 真空孔 打线 底座 通口 载具 力量 生产 | ||
【主权项】:
1.一种DBC键合夹具,其特征在于:包括承载部(1),所述承载部(1)设有底座本体(11),所述底座本体(11)上设有气缸(4),所述底座本体(11)上端形成有槽体(13),所述槽体(13)内部设有固定部(3);所述固定部(3)上表面形成有上平面凹槽(31),固定部(3)下表面形成有下平面凹槽(32),固定部(3)上方设有压盖部(2);所述压盖部(2)的边缘固定孔(23)与所述气缸(4)上端的气缸轴(41)通过螺丝连接,压盖部(2)上形成有与所述上平面凹槽(31)对应的打线通口(21)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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