[实用新型]一种基于等离子体射流固体烧蚀直接分析的装置有效
| 申请号: | 201821969664.9 | 申请日: | 2018-11-27 |
| 公开(公告)号: | CN209432703U | 公开(公告)日: | 2019-09-24 |
| 发明(设计)人: | 杨燕婷;刘卓;代渐雄 | 申请(专利权)人: | 成都艾立本科技有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/71 | 分类号: | G01N21/71 |
| 代理公司: | 成都高远知识产权代理事务所(普通合伙) 51222 | 代理人: | 李安霞;曾克 |
| 地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | 本实用新型公开一种基于等离子体射流固体烧蚀直接分析的装置,包括:微波等离子体系统,气体传输系统,样品承载系统,信号收集系统和数据分析系统;微波等离子体系统包括:微波谐振腔,微波功率源,轴向贯穿微波谐振腔的放电管;微波谐振腔与放电管均与微波功率源连接;气体传输系统连接放电管;样品承载系统位于放电管出气口下方;信号收集系统用于收集待测样品的光谱信号,并与数据分析系统连接;还包括:高压供电装置和两个放电针;两个放电针尖端穿过放电管的侧壁位于放电管内,且两个放电针尖端相对;两个放电针尾端连接高压供电装置输出端。本实用新型提供的技术方案,能够实现微波等离子体的自动引燃过程,大大提高了装置使用的便捷性。 | ||
| 搜索关键词: | 放电管 放电针 微波等离子体 微波谐振腔 等离子体射流 高压供电装置 气体传输系统 数据分析系统 信号收集系统 本实用新型 微波功率源 样品承载 直接分析 烧蚀 待测样品 光谱信号 尖端相对 尾端连接 轴向贯穿 装置使用 便捷性 出气口 输出端 侧壁 引燃 穿过 | ||
【主权项】:
1.一种基于等离子体射流固体烧蚀直接分析的装置,包括:微波等离子体系统,气体传输系统,样品承载系统,信号收集系统和数据分析系统;所述微波等离子体系统包括:微波谐振腔(6),微波功率源(7),轴向贯穿所述微波谐振腔(6)的放电管(5);所述微波谐振腔(6)与放电管(5)均与所述微波功率源(7)连接;所述气体传输系统连接所述放电管(5);所述样品承载系统位于所述放电管(5)出气口下方;所述信号收集系统用于收集待测样品的光谱信号;所述信号收集系统连接所述数据分析系统;其特征在于,还包括:引燃装置;所述引燃装置包括高压供电装置(16)和两个放电针(17);所述两个放电针(17)的尖端穿过所述放电管(5)的侧壁位于所述放电管(5)内,且两个放电针(17)的尖端相对;所述两个放电针(17)的尾端连接所述高压供电装置(16)的输出端。
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