[实用新型]脱气装置及带有脱气装置的电镀设备有效

专利信息
申请号: 201821948199.0 申请日: 2018-11-23
公开(公告)号: CN209128586U 公开(公告)日: 2019-07-19
发明(设计)人: 朱晓彤;吴孝哲;林宗贤;吴龙江;熊建锋;吴明 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: C25D21/04 分类号: C25D21/04;C25D21/02;B01D19/00
代理公司: 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 代理人: 孙佳胤
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种脱气装置及带有脱气装置的电镀设备,其中脱气装置,包括:进液口,用于向脱气装置通入待脱气液体;脱气单元,与进液口相连通,用于脱去待脱气液体中的气体;还包括:加热器,设置于进液口与脱气单元之间,与进液口和脱气单元相连通,用于加热流过的待脱气液体,以降低待脱气液体中的气体的溶解度,使待脱气液体中溶解的气体析出。本实用新型的脱气装置及带有脱气装置的电镀设备具有加热器和脱气单元,能对待脱气液体进行加热,以降低待脱气液体中的气体的溶解度,使待脱气液体中溶解的气体析出,使得使用脱气单元对待脱气液体进行脱气处理时,液体中溶解的大部分气体都被加热析出,从而具有更好的脱气效果。
搜索关键词: 脱气液体 脱气装置 脱气单元 进液口 电镀设备 加热 加热器 溶解 气体析出 溶解度 本实用新型 脱气处理 脱气效果 析出 脱去
【主权项】:
1.一种脱气装置,包括:进液口,用于向所述脱气装置通入待脱气液体;脱气单元,与所述进液口相连通,用于脱去待脱气液体中的气体;其特征在于,还包括:加热器,设置于所述进液口与所述脱气单元之间,与所述进液口和脱气单元相连通,用于加热流过的待脱气液体,以降低待脱气液体中的气体的溶解度,使待脱气液体中溶解的气体析出。
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