[实用新型]一种非扫描聚焦式光学表面等离子共振检测装置有效

专利信息
申请号: 201821830461.1 申请日: 2018-11-07
公开(公告)号: CN209727762U 公开(公告)日: 2019-12-03
发明(设计)人: 杨亚涛;胡建东;马刘正;李东贤;张浩 申请(专利权)人: 河南农业大学
主分类号: G01N21/552 分类号: G01N21/552
代理公司: 41129 河南大象律师事务所 代理人: 尹周<国际申请>=<国际公布>=<进入国
地址: 450000 河*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型涉及一种非扫描聚焦式光学表面等离子共振检测装置,包括一字线激光器,聚焦变焦机构、遮光箱体和线阵光电检测单元,所述的一字线激光器为圆柱体,所述的一字线激光器的两端布置有用于固定支撑所述的一字线激光器的激光器支撑柱,所述的一字线激光器的输出端设置有聚焦变焦机构,所述的聚焦变焦机构的侧面与所述的激光器支撑柱的侧面固定连接,总的,本实用新型具有结构简单,精度高的优点。
搜索关键词: 一字线激光器 变焦机构 本实用新型 聚焦 激光器 支撑柱 等离子共振检测 光电检测单元 侧面固定 固定支撑 光学表面 遮光箱体 聚焦式 输出端 线阵 扫描 侧面
【主权项】:
1.一种非扫描聚焦式光学表面等离子共振检测装置,其特征在于:包括一字线激光器(1),聚焦变焦机构(2)、遮光箱体(3)和线阵光电检测单元(5),所述的一字线激光器(1)为圆柱体,所述的一字线激光器(1)的两端布置有用于固定支撑所述的一字线激光器(1)的激光器支撑柱(4),所述的一字线激光器(1)的输出端设置有聚焦变焦机构(2),所述的聚焦变焦机构(2)的侧面与所述的激光器支撑柱(4)的侧面固定连接,/n所述的聚焦变焦机构(2)的侧面设置有棱镜反射模块(6),所述的棱镜反射模块(6)的外端布置有用于遮光的遮光箱体(3),所述的棱镜反射模块(6)的下端布置有光衰减准直机构(7),所述的光衰减准直机构(7)的下方布置有线阵光电检测单元(5),所述的线阵光电检测单元(5)的下方设置有数据采集单元(8),所述的一字线激光器(1)、聚焦变焦机构(2)、线阵光电检测单元(5)、棱镜反射模块(6)和光衰减准直机构(7)布置在所述的遮光箱体(3)内。/n
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