[实用新型]用于DMD数字光刻引擎的紫外照明光源有效
| 申请号： | 201821826949.7 | 申请日： | 2018-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN210090915U | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 卢振武;孙强;许文斌;蔺春波;刘建卓;许家林;王鹤;徐佳 | 申请（专利权）人： | 长春长光中天光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 姜姗姗 |
| 地址： | 130000 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及用于DMD数字光刻引擎的紫外照明光源，包括：衬底层，所述衬底层为蓝宝石衬底层，并且其下设置有无缝贴合的金属膜；和位于所述衬底层下方的动力层，动力层包括固定板，固定板上通过轴承座连接有转轴，转轴上端安装有紫外灯珠，紫外灯珠上方设置有准直透镜，转轴与同步带啮合连接，一个同步带套置在相邻的两个转轴上，固定板的中心固定连接有转动轮，转动轮与电机的转轴固定连接。解决了现有技术中存在的紫外光线均匀度不佳的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 dmd 数字 光刻 引擎 紫外 照明 光源 | ||
【主权项】：
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