[实用新型]蒸镀源装置有效
| 申请号： | 201821778812.9 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN208965020U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 李嘉宸 | 申请（专利权）人： | 陕西坤同半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 李有财 |
| 地址： | 712046 陕西省咸阳市秦*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及种蒸镀源装置，装设在蒸镀设备中，用于蒸镀有机材料，其中蒸镀源装置包括：蒸镀坩埚，用于承装有机材料；加热器，与蒸镀坩埚对应设置，加热器用于加热蒸镀坩埚；磁性搅拌机构，设置于蒸镀坩埚内，磁性搅拌机构用于搅拌有机材料；以及电磁驱动机构，设置于蒸镀坩埚外侧，电磁驱动机构与磁性搅拌机构对应设置，电磁驱动机构通电并产生一磁场，磁场与磁性搅拌机构相互作用，驱动磁性搅拌机构转动而搅拌有机材料。本实用新型的蒸镀源装置可在蒸镀设备蒸镀有机材料时，通过电磁驱动机构驱动磁性搅拌机构转动而搅拌有机材料，使有机材料在坩锅内加热升华时受热均匀，避免有机材料受热不均，造成材料液化不完全，进而导致有机材料的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 有机材料 蒸镀 搅拌机构 坩埚 电磁驱动机构 蒸镀源 加热器 本实用新型 蒸镀设备 磁场 转动 驱动 加热升华 受热不均 受热均匀 液化 坩锅 加热 通电 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀源装置，装设在蒸镀设备中，用于蒸镀有机材料，其特征在于，所述蒸镀源装置包括：蒸镀坩埚，用于承装所述有机材料；加热器，与所述蒸镀坩埚对应设置，所述加热器用于加热所述蒸镀坩埚；磁性搅拌机构，设置于所述蒸镀坩埚内，所述磁性搅拌机构用于搅拌所述有机材料；以及电磁驱动机构，设置于所述蒸镀坩埚外侧，所述电磁驱动机构与所述磁性搅拌机构对应设置，所述电磁驱动机构通电并产生一磁场，所述磁场与所述磁性搅拌机构相互作用，驱动所述磁性搅拌机构转动而搅拌所述有机材料。
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