[实用新型]一种输送系统有效
| 申请号： | 201821760755.1 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN209142958U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 张进秋 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G13/06 | 分类号： | B65G13/06;B65G69/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102299 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及外延设备技术领域，尤其涉及一种输送系统，包括真空腔室和沿被载物的输送方向设置的多个输送装置，各输送装置分别包括驱动部件、传动部件和支撑部件，传动部件包括转动轴及回转密封套，转动轴穿过真空腔室侧壁进入真空腔室内部，支撑部件设置于转动轴位于真空腔室内部的一端，支撑部件用于支撑被载物，驱动部件设置于转动轴位于真空腔室外部的一端，驱动部件用于驱动转动轴转动输送被载物，回转密封套套在转动轴位于真空腔室外的部分，并且回转密封套位于真空腔室与驱动部件之间。本实用新型可实现不含油的真空密封，避免真空环境油液微量挥发对真空环境造成污染，不易磨损老化失效，达到密封性能要求和环境使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 转动轴 驱动部件 真空腔 回转密封 真空腔室 支撑部件 载物 本实用新型 传动部件 输送系统 输送装置 真空环境 室内部 密封性能要求 驱动转动轴 方向设置 外延设备 真空密封 室外部 挥发 侧壁 含油 油液 磨损 转动 室外 老化 穿过 支撑 污染 | ||
【主权项】：
1.一种输送系统，其特征在于：包括真空腔室和沿被载物的输送方向设置的多个输送装置，各所述输送装置分别包括驱动部件、传动部件和支撑部件，所述传动部件包括转动轴及回转密封套，所述转动轴穿过所述真空腔室侧壁进入所述真空腔室内部，所述支撑部件设置于所述转动轴位于所述真空腔室内部的一端，所述支撑部件用于支撑所述被载物，所述驱动部件设置于所述转动轴位于所述真空腔室外部的一端，所述驱动部件用于驱动所述转动轴转动输送所述被载物，所述回转密封套套在所述转动轴位于所述真空腔室外的部分，并且所述回转密封套位于所述真空腔室与所述驱动部件之间。
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