[实用新型]一种具有红外加热装置的阴极结构有效
| 申请号： | 201821746449.2 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN208933464U | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 华建军;湛克宇 | 申请（专利权）人： | 惠州市天誉科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 惠州创联专利代理事务所(普通合伙) 44382 | 代理人： | 赵瑾 |
| 地址： | 516227 广东省惠州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种具有红外加热装置的阴极结构，包括靶台，所述靶台包括大体呈长方体的外壳、以及设置在所述外壳内的靶材，所述外壳上设有用于提升阴极温度的红外加热装置，所述红外加热装置包括座体和加热件，所述座体与所述外壳连接，所述加热件固设在所述座体内。本实用新型通过在阴极的靶台两侧设置红外加热装置，镀膜时，可提升阴极镀膜区（靶材四周）的温度，从而缩短阴极预溅射的时间，在不浪费靶材的前提下制备出高质量薄膜，实现了节约资源，降低实验成本，提高效率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 红外加热装置 阴极 靶材 靶台 本实用新型 阴极结构 加热件 座体 高质量薄膜 节约资源 两侧设置 实验成本 外壳连接 镀膜区 预溅射 镀膜 制备 体内 | ||
【主权项】：
1.一种具有红外加热装置的阴极结构，包括靶台，所述靶台包括大体呈长方体的外壳、以及设置在所述外壳内的靶材，其特征在于，所述外壳上设有用于提升阴极温度的红外加热装置，所述红外加热装置包括座体和加热件，所述座体与所述外壳连接，所述加热件固设在所述座体内。
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