[实用新型]新型丝网吸片装置有效
| 申请号： | 201821729883.X | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN209016039U | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 杨林;梁小静;刘慎思;陶智华;郑飞 | 申请（专利权）人： | 上海神舟新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人： | 许丽 |
| 地址： | 201112 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型的新型丝网吸片装置包括吸盘，在所述吸盘四周设置有吸盘毛刷。吸盘毛刷比海绵垫变形性更好，能更好的缓冲吸片时和硅片的接触力，降低吸片碎片率。 | ||
| 搜索关键词： | 吸盘 吸片装置 丝网 毛刷 本实用新型 变形性 海绵垫 接触力 碎片率 硅片 缓冲 吸片 | ||
【主权项】：
1.新型丝网吸片装置，包括吸盘，其特征在于，在所述吸盘四周设置有吸盘毛刷；所述吸盘毛刷为多根，多根吸盘毛刷均匀分布在所述吸盘的四周；所述新型丝网吸片装置还包括吸盘支架，所述吸盘与所述吸盘支架连接，所述吸盘支架与机械手固定连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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