[实用新型]一种平衡加热装置及太阳能电池生产设备有效
| 申请号： | 201821727630.9 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN209087777U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 徐永志 | 申请（专利权）人： | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 李莎 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种平衡加热装置及太阳能电池生产设备，其包括产品温度检测模块、总控制器、驱动装置和多个加热单元；所述驱动装置用于移动加热后的产品使其经过所述产品温度检测模块，所述产品温度检测模块用于对加热后的产品进行温度检测获得产品温度值并传递给所述总控制器；所述总控制器用于根据所述产品温度值修正所述加热单元的工作温度直至产品温度达到加热工艺标准值。通过产品温度检测模块反馈的产品温度值修正加热单元的工作温度，解决现有技术仅对加热单元进行温度控制，不能保障产品温度符合工艺标准要求的问题，从根本上满足工艺标准对产品温度的要求，有效提高产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 温度检测模块 加热单元 总控制器 太阳能电池生产设备 平衡加热 驱动装置 加热 工艺标准要求 修正 本实用新型 保障产品 工艺标准 加热工艺 温度检测 反馈 传递 移动 | ||
【主权项】：
1.一种平衡加热装置，其用于太阳能电池生产设备，其特征在于，包括产品温度检测模块、总控制器、驱动装置和多个加热单元；所述驱动装置用于移动加热后的产品使其经过所述产品温度检测模块，所述产品温度检测模块用于对加热后的产品进行温度检测获得产品温度值并传递给所述总控制器；所述总控制器用于根据所述产品温度值修正所述加热单元的工作温度直至产品温度达到加热工艺标准值。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
