[实用新型]一种晶托抓取两轴机械手

摘要

本实用新型涉及半导体加工辅助工具，特别是一种晶托抓取两轴机械手，属于半导体加工领域。本实用新型所要解决的技术问题是提供一种晶托抓取两轴机械手，以替代手工转移晶托，提高晶托的转移效率。本实用新型所述的一种晶托抓取两轴机械手，包括夹爪、横轴和纵轴，纵轴相对于横轴往复运动，夹爪相对于纵轴往复运动，也就是说，夹爪可以在两个方向上往复运动，采用该方案转移晶托，大大提高了晶托的转移效率，降低了操作人员的劳动强度。检测器的设置主要用于检测夹爪是否抓取晶托，检测器与控制器通讯，控制器根据检测器检测到的信息发出相应的控制指令，使得晶托抓取两轴机械手具有较高的自动化能力，进一步提高了晶托的转移效率。

主权项

1.一种晶托抓取两轴机械手，包括夹爪(1)，其特征是：该晶托抓取两轴机械手还包括横轴(2)和纵轴(3)，所述纵轴(3)沿所述横轴(2)往复运动，所述夹爪(1)沿所述纵轴(3)往复运动，所述横轴(2)包括横向架(4)和固定于所述横向架(4)上的横向导轨(5)，在所述纵轴(3)上设置有与所述横向导轨(5)配合的滑座(6)，在所述横向架(4)上还设置有第一齿条(7)，所述第一齿条(7)与所述横向导轨(5)平行，在所述滑座(6)上设置有与所述第一齿条(7)配合的第一齿轮，在所述滑座(6)上还设置有驱动所述第一齿轮旋转的第一伺服电机，所述纵轴(3)包括纵向架(8)，所述滑座(6)固定于所述纵向架(8)上，在所述纵向架(8)上设置有纵向导轨(9)，所述夹爪(1)包括与所述纵向导轨(9)配合的座体(10)，在所述纵向架(8)上还设置有纵向齿条，所述纵向齿条与所述纵向导轨(9)平行，在所述座体(10)上设置有与所述纵向齿条啮合的第二齿轮，所述座体(10)上设置有驱动所述第二齿轮旋转的第二伺服电机，所述夹爪(1)还包括夹臂(11)，所述座体(10)上设置有轨道，所述夹臂(11)上设置有与所述轨道配合的配合部，在所述座体(10)上还设置有驱动所述夹臂(11)沿所述轨道往复运动的驱动器(12)，在所述座体(10)上还设置有检测所述夹爪(1)是否抓取物料的检测器(13)，该晶托抓取两轴机械手还包括控制器，所述第一伺服电机、第二伺服电机和驱动器(12)均由所述控制器控制工作，所述检测器(13)与所述控制器通讯。