[实用新型]百微米量程透射式干涉测试装置

摘要

一种百微米量程透射式干涉测试装置，由632.8nm激光光源模块、准直测试模块、对准测试模块、小量程干涉成像模块和大量程干涉成像模块五部分构成，可测试平面光学元件的反射及透射波前面形精度，可测试平面光学元件的最大口径为Φ200mm，也可用于测试光学系统的物理特性以及综合系统光学参数等。本实用新型测试精度的PV值优于λ/10，RMS值优于λ/50，系统重复性优于λ/500；本实用新型检测面形精度范围在0～100μm。本实用新型检测精度范围宽、成本低、空间占用体积小，适用于光学元件的大面积高精度对准测试。

主权项

1.一种百微米量程透射式干涉测试装置，其特征在于由632.8nm激光光源模块、准直测试模块、对准测试模块、小量程干涉成像模块和大量程干涉成像模块构成，包括632.8nm激光器(1)，沿632.8nm激光器(1)的激光输出方向依次是聚焦物镜(2)、偏振分光棱镜(3)、第一四分之一波片(4)、第一45°分光反射镜(5)、准直物镜(6)、标准平面楔镜(7)和标准反射镜(8)，沿所述的标准反射镜(8)返回光的方向依次是所述的标准平面楔镜(7)、准直物镜(6)、第一45°分光反射镜(5)，该第一45°分光反射镜(5)将所述的返回光分为反射的返回光和透射的返回光；在所述的透射的返回光方向依次是毛玻璃片(9)、对准成像镜组(10)和CMOS成像靶面(11)，在所述的反射的返回光方向依次是所述的第一四分之一波片(4)、偏振分光棱镜(3)，在该偏振分光棱镜(3)的反射光方向依次是光阑(12)、第二四分之一波片(13)、非偏振分光棱镜(14)，该非偏振分光棱镜(14)将入射光分为反射光和透射光，在所述的透射光方向依次是第一凸透镜(15)、第二凸透镜(16)和第一成像CCD靶面(17)；在所述的反射光方向依次是第二45°反射镜(18)、第一凹面镜(19)、第三凸透镜(20)、微透镜阵列(21)和第二成像CCD靶面(22)；所述的第一45°分光反射镜(5)与光路夹角为45°，所述的准直物镜(6)的数值孔径与所述的聚焦物镜(2)的数值孔径相等，且两者对激光光源输出的平行光聚焦焦点相重合，所述的标准平面楔镜(7)在光束前进方向的第一面为楔角面，第二面为标准参考平面，且标准参考平面垂直于所述的准直物镜(6)的光轴，所述的标准反射镜(8)沿光束前进方向第一面为标准反射参考面，且垂直于所述的准直物镜(6)的光轴，所述标准参考平面与标准反射参考面形成标准干涉测试腔，待测光学元件置于所述的标准干涉测试腔中，实现干涉测试；所述的第一凹面镜(19)和第三凸透镜(20)组成双远心镜组；所述的第一凸透镜(15)和第二凸透镜(16)形成双远心镜组；所述的毛玻璃片(9)位于所述的准直物镜(6)的焦平面上，所述的对准成像镜组(10)和CMOS成像靶面(11)对所述的毛玻片(9)成全视场成像。