[实用新型]一种红外探测器

摘要

本实用新型涉及一种红外探测器及其制备方法，包括衬底层，设置于衬底层上的半导体层，所述半导体层上方还设置有贵金属膜，该金属膜上设置有多个倾斜的排列的金属棒；该红外探测器，是基于肖特基结的红外探测器，通过红外光影响肖特基结周围的电场分布，从而改变肖特基结的势垒电压，通过检测肖特基结的势垒电压的变化，实现对红外信号的探测，而且该红外探测器，在红外区域具有较宽频域的吸收性，而且光电转化率高，对于红外光的识别性好，制备过程中不需要进行退火，能够将金属膜、金属棒一次完成，制备方案简单。

主权项

1.一种红外探测器，其特征在于：包括衬底层（1），设置于衬底层（1）上的半导体层（2），所述半导体层（2）上方还设置有贵金属膜（3），该金属膜（3）上设置有多个倾斜的排列的金属棒（4）。