[实用新型]一种透明导电电极的修补装置有效
申请号: | 201821660150.5 | 申请日: | 2018-10-14 |
公开(公告)号: | CN208844178U | 公开(公告)日: | 2019-05-10 |
发明(设计)人: | 朱金荣 | 申请(专利权)人: | 绍兴亚普电子科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 312000 浙江省绍兴市柯桥区齐贤镇柯*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了显示技术领域的一种透明导电电极的修补装置,包括工作台和基板,所述工作台的底部设置有吸附装置,所述顶板底侧壁的中间设置有溅射靶,所述侧板的底部从下到上依次贯穿插接有连接杆和螺纹杆,所述连接杆外侧壁靠近溅射靶的一侧套接有固定滑套装置,左右两组所述连接杆相互靠近的一端设置有下挡板,前后两组所述连接杆相互靠近的一端设置有上挡板,通过推动连接杆在滑套内腔的滑动,快速实现上挡板和下挡板的移动,可以初步确定两组下挡板和两组上挡板围成的通道面积,通过螺纹杆的转动推动固定滑套装置小范围的移动,精确通道面积的大小,精确穿过通道的透明导电电极粒子沉积成的透明导电膜面积的大小。 | ||
搜索关键词: | 连接杆 两组 透明导电电极 上挡板 下挡板 固定滑套 修补装置 一端设置 溅射靶 螺纹杆 工作台 本实用新型 透明导电膜 滑套内腔 粒子沉积 推动连接 吸附装置 中间设置 底侧壁 外侧壁 滑动 移动 侧板 插接 基板 套接 转动 穿过 贯穿 | ||
【主权项】:
1.一种透明导电电极的修补装置,包括工作台(1)和基板(3),其特征在于:所述工作台(1)的顶部设置有阳极,所述工作台(1)的底部设置有吸附装置(2),所述工作台(1)顶部的中间设置有顶板(4),且顶板(4)的底部设置有阴极,所述顶板(4)底侧壁的中间设置有溅射靶(13),所述顶板(4)底侧壁的四周均设置有侧板(5),所述侧板(5)的底部从下到上依次贯穿插接有连接杆(7)和螺纹杆(6),所述连接杆(7)外侧壁靠近溅射靶(13)的一侧套接有固定滑套装置(8),且固定滑套装置(8)靠近侧板(5)一侧的顶部与螺纹杆(6)活动连接,左右两组所述连接杆(7)相互靠近的一端设置有下挡板(11),前后两组所述连接杆(7)相互靠近的一端设置有上挡板(10),所述上挡板(10)的底侧壁与下挡板(11)的顶侧壁贴合,且上挡板(10)位于溅射靶(13)下方,两组所述上挡板(10)与两组下挡板(11)之间的形成通道(12),所述上挡板(10)顶侧壁的左右两侧和下挡板(11)的前后两侧壁均设置有导向套,且导向套的内腔活动插接有导向杆,且导向杆与顶板(4)的底侧壁连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于绍兴亚普电子科技有限公司,未经绍兴亚普电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201821660150.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种镧热还原法制备的金属靶材装置
- 下一篇:一种真空磁控溅射用新型平面阴极
- 同类专利
- 专利分类