[实用新型]脉冲激光沉积系统的靶材装载装置及系统

摘要

本实用新型涉及薄膜制造技术领域，公开了一种脉冲激光沉积系统的靶材装载装置及系统。所述脉冲激光沉积系统的靶材装载装置包括靶材转盘、至少一个靶座、靶座自转齿轮、靶座自转驱动齿轮、靶材挡板、靶材挡板单向轴承、靶材挡板单向轴承座、公转主轴、靶材转盘自转齿轮、靶材转盘单向轴承和驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述公转主轴转动以带动所述靶材转盘转动、驱动所述公转主轴转动带动靶材挡板单向转动以使所述靶材转盘上的靶座可正对所述靶材挡板的靶材孔、以及驱动所述靶座自转驱动齿轮带动所述靶座自转齿轮转动以使所述靶座自转。通过控制旋转靶材挡板就方便快捷地实现了靶材的快速切换，提升了薄膜制造的工作效率。

主权项

1.一种脉冲激光沉积系统的靶材装载装置，其特征在于，包括靶材转盘、至少一个靶座、靶座自转齿轮、靶座自转驱动齿轮、靶材挡板、靶材挡板单向轴承、靶材挡板单向轴承座、公转主轴、靶材转盘自转齿轮、靶材转盘单向轴承和驱动机构，所述靶座设置在所述靶材转盘第一侧面，所述靶座自转齿轮设置在所述靶材转盘第二侧面与所述靶座的对应位置，所述靶材挡板设置有与所述靶座对应的靶材孔，所述靶材挡板安装在所述靶材挡板单向轴承座上并通过所述靶材挡板单向轴承安装在所述公转主轴上，所述靶座自转齿轮与所述靶座自转驱动齿轮啮合，所述靶材转盘通过所述靶材转盘单向轴承安装在所述公转主轴上且通过所述靶材转盘自转齿轮驱动自转，所述驱动机构用于驱动所述公转主轴转动以带动所述靶材转盘转动、驱动所述公转主轴转动带动靶材挡板单向转动以使所述靶材转盘上的靶座可正对所述靶材挡板的靶材孔、以及驱动所述靶座自转驱动齿轮带动所述靶座自转齿轮转动以使所述靶座自转。