[实用新型]一种激光划片装置有效

专利信息
申请号: 201821606757.5 申请日: 2018-09-29
公开(公告)号: CN208977072U 公开(公告)日: 2019-06-14
发明(设计)人: 林金明;林静;张晓宇 申请(专利权)人: 无锡恒领科技有限公司
主分类号: B23K26/36 分类号: B23K26/36;B23K26/064;B23K26/08;B23K26/70
代理公司: 浙江杭知桥律师事务所 33256 代理人: 王梨华;陈丽霞
地址: 214131 江苏省无锡市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及激光划片技术领域,公开了一种激光划片装置,包括工作台(2),工作台(2)包括下平台(203)和上平台(201),下平台(203)上设有上平台(201),上平台(201)上设有Z轴运动模组(12)和折射镜固定板(11),Z轴运动模组(12)上设有多焦点聚焦头(18)和激光裂片聚焦头(20),折射镜固定板(11)上设有第一反射镜(16)和第二反射镜(19),上平台(201)上还设有划片激光器(9)、第一反射镜组(6)、裂片激光器(10)和第二反射镜组(15)。本实用新型具有能在一台机器上完成划片和裂片操作、有效提升加工效率、提升产品质量的优点。
搜索关键词: 上平台 激光划片装置 本实用新型 反射镜组 激光器 反射镜 固定板 聚焦头 下平台 折射镜 工作台 划片 裂片 激光划片 加工效率 裂片操作 多焦点 激光
【主权项】:
1.一种激光划片装置,其特征在于:包括工作台(2),工作台(2)包括下平台(203)和上平台(201),下平台(203)上设有上平台(201),上平台(201)上设有Z轴运动模组(12)和折射镜固定板(11),Z轴运动模组(12)上设有多焦点聚焦头(18)和激光裂片聚焦头(20),折射镜固定板(11)上设有第一反射镜(16)和第二反射镜(19),上平台(201)上还设有划片激光器(9)、第一反射镜组(6)、裂片激光器(10)和第二反射镜组(15),第一反射镜组(6)用于接收划片激光器(9)发射的激光,第一反射镜(16)用于接收第一反射镜组(6)的反射光,第二反射镜组(15)用于接收裂片激光器(10)发射的激光,第二反射镜(19)用于接收第二反射镜组(15)的反射光;下平台(203)上设有X/Y轴运动模组(8),X/Y轴运动模组(8)上设有载物台(7),载物台(7)位于多焦点聚焦头(18)和激光裂片聚焦头(20)的下方;X/Y轴运动模组(8)包括X轴运动模组(801)和Y轴运动模组(802),X轴运动模组(801)设置在下平台(203)上,X轴运动模组(801)上设有Y轴运动模组(802),Y轴运动模组(802)上设有载物台(7),X轴运动模组(801)上设有第一光栅尺(8011),第一光栅尺(8011)用于监测X轴运动模组(801)的位移数据,Y轴运动模组(802)上设有第二光栅尺(8021),第二光栅尺(8021)用于监测Y轴运动模组(802)的位移数据。
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