[实用新型]一种晶圆载入装置及半导体加工设备

摘要

本实用新型公开了一种晶圆载入装置及半导体加工设备，包括安装底板，所述安装底板的顶部固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的顶部固定连接有托板。本实用新型通过设置安装底板，安装底板的顶部通过伸缩杆连接托板，伸缩杆用于限制托板升降的轨道，使托板只能竖直移动，转动螺纹杆，螺纹杆驱动限位块移动到指定位置，然后启动推动气缸推动推动块，推动块沿着滑动杆滑动与限位块搭接，推动块移动的位置被锁定，两个推动块相向移动，两个推动块通过铰接杆与托板铰接，使托板移动到指定的高度，达到了托板升降位置与预设位置无误差的效果。

主权项

1.一种晶圆载入装置及半导体加工设备，包括安装底板（1），其特征在于：所述安装底板（1）的顶部固定连接有伸缩杆（2），所述伸缩杆（2）的顶部固定连接有托板（3）；所述安装底板（1）的顶部固定连接有四个固定块（4），四个固定块（4）两两一组对称分布在安装底板（1）的顶部，两个一组固定块（4）的相对面转动连接有螺纹杆（5），所述螺纹杆（5）的表面从中间朝两边开设有旋向相反的螺纹，两个螺纹杆（5）的表面螺纹连接有两个限位块（6），所述安装底板（1）的顶部对称固定连接有滑动杆（7），所述限位块（6）的侧面开设有通孔，所述限位块（6）的内壁通过通孔与滑动杆（7）的表面滑动连接，两个滑动杆（7）的表面滑动连接有两个推动块（8），两个推动块（8）的相对面分别与两个限位块（6）的相背面搭接，所述托板（3）的底部和推动块（8）的顶部铰接有铰接杆（9），所述安装底板（1）的顶部对称固定连接有两个推动气缸（10），所述推动气缸（10）的输出轴分别与一个推动块（8）的侧面固定连接。