[实用新型]对焦补偿设备有效
| 申请号： | 201821587958.5 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN208739260U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 桂宇畅 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H04N5/235 | 分类号： | H04N5/235;H04N5/232 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种对焦补偿的设备，包含：一曝光机镜组，具有一焦点；一待测物平台，配置用以放置一待测物，所述曝光机镜组对所述待测物以多个不同的对焦条件对多个线段的一轴线方向上的多个点进行量测多个线宽，以得到多个量测值；一处理模组，配置用以将所述多个量测值形成至少一线宽曲线，并依照所述至少一线宽曲线生成一补偿信号；及一通信模组，配置用以将所述补偿信号传送至所述曝光机镜组，以所述曝光机镜组的一对焦作业进行补正。本实用新型通过对产品量测线宽，并反馈所述曝光机的对焦情况，再经过对曝光机对焦的补正，以达到改善曝光机对焦的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光机 镜组 待测物 对焦 量测 本实用新型 补偿信号 对焦补偿 补正 配置 线段 处理模组 对焦条件 曲线生成 通信模组 轴线方向 产品量 测线 线宽 传送 反馈 焦点 | ||
【主权项】：
1.一种对焦补偿的设备，其特征在于：所述对焦补偿的设备包含：一曝光机镜组，具有一焦点；一待测物平台，配置用以放置一待测物，所述曝光机镜组对所述待测物以多个不同的对焦条件对多个线段的一轴线方向上的多个点进行量测多个线宽，以得到多个量测值；一处理模组，配置用以将所述多个量测值形成至少一线宽曲线，并依照所述至少一线宽曲线生成一补偿信号；及一通信模组，配置用以将所述补偿信号传送至所述曝光机镜组，以所述曝光机镜组的一对焦作业进行补正。
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