[实用新型]一种镧热还原法制备的金属靶材装置

摘要

本实用新型公开了一种镧热还原法制备的金属靶材装置，包括稀土氧化物，金属镧碎屑，不锈钢模具，坩埚，真空还原炉，靶模，其特征在于所述不锈钢模具中设有稀土氧化物与金属镧碎屑的混合物，且稀土氧化物：金属镧碎屑的比例为1:1.2‑1.5；所述混合物在不锈钢模具中被1000×10⁵Pa‑10000×10⁵Pa的压制压力压制成块状，形成成型板坯；所述板坯设置在坩埚中，坩埚放置在真空还原炉中；且靶模位于坩埚的中央顶部，在靶模口处固定广口收集器，且靶模倒置固定在真空还原炉顶部；该装置可以缩短生产流程，减少金属氧化环节，模具可多次使用，节约材料，支撑的金属靶材密度高，密度均匀，成本低，易加工等优点，完全能够满足OLED屏幕使用要求的密度与纯度，内含杂质少。

主权项

1.一种镧热还原法制备的金属靶材装置，包括稀土氧化物，金属镧碎屑，不锈钢模具，坩埚，真空还原炉，靶模，其特征在于所述不锈钢模具中设有稀土氧化物与金属镧碎屑的混合物；所述混合物在不锈钢模具中被1000×105Pa ‑10000×105Pa的压制压力压制成块状，形成成型板坯；所述板坯设置在坩埚中；所述真空还原炉中设有坩埚，在真空还原炉的顶盖上设有圆环，圆环边侧对称的设有固定螺栓，在圆环上还对称的设有用于吻合靶模的凹槽；且靶模位于坩埚的中央顶部，在靶模口处固定广口收集器，且靶模倒置固定在真空还原炉顶部的圆环内；所述真空还原炉内真空度为10‑3Pa，真空还原炉内温度为加热1000‑1500℃；所述靶模为两个对扣的半圆桶结构，且在半圆桶两侧设有固定板，固定板上设有通孔；所述固定板通过螺栓可拆卸的对扣固定。