[实用新型]气相HF熏蒸装置的进气系统及气相HF熏蒸装置有效
| 申请号： | 201821451059.2 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN208829257U | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 孙文良;陈果;葛俊山;马志坚 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京博讯知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11593 | 代理人： | 柳兴坤 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气相HF熏蒸装置的进气系统及气相HF熏蒸装置，所述进气系统包括气态乙醇进气支路，在所述气态乙醇进气支路上设置有盛装有液态乙醇的容器，在所述容器上设置有氮气输入管路和乙醇输出管路，其中，所述氮气输入管路的出气口位于所述容器内的液态乙醇的液面之上，所述乙醇输出管路的一端插入液态乙醇内部。该进气系统中，氮气进入盛装有液态乙醇的容器后，由于容器内压力增大，从而将液态乙醇压入插入到液态乙醇内部的乙醇输出管路中，避免了由于液态乙醇液面的变化而影响其输出量，保证了气相HF熏蒸的加工质量和产品的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 液态乙醇 乙醇 进气系统 熏蒸装置 输出管路 氮气输入管路 盛装 氮气 本实用新型 容器内压力 进气支路 熏蒸 出气口 输出量 进气 压入 液面 加工 保证 | ||
【主权项】：
1.一种气相HF熏蒸装置的进气系统，其特征在于，包括气态乙醇进气支路，在所述气态乙醇进气支路上设置有盛装有液态乙醇的容器，在所述容器上设置有氮气输入管路和乙醇输出管路，其中，所述氮气输入管路的出气口位于所述容器内的液态乙醇的液面之上，所述乙醇输出管路的一端插入液态乙醇内部。
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