[实用新型]显微物镜光学系统及光学设备

摘要

本实用新型提出的显微物镜光学系统及光学设备，采用折反射式结构，具体为折反射中继镜组与复杂透射式准直镜组相结合的方式，有效校正高级球差，控制了与视场有关的像散、场曲及初高级彗差，在波段320nm～800nm范围内，实现视场大于2mm，数值孔径为1.0，成像质量达到衍射限。

主权项

1.一种显微物镜光学系统，其特征在于，包括以中间像面为界分成的中继镜组和准直镜组，所述中继镜组沿着光轴依次包括正光焦度的第二透镜、负光焦度的第三透镜以及负光焦度的第四透镜，其中，所述第二透镜朝向物面第一表面具有第一透射区，所述第三透镜为弯月透镜，所述第三透镜的两个表面的曲率中心均位于物面一侧，第三透镜第二表面中心区域为第二透射区，所述二透镜和物面之间设有液体介质；所述准直镜组沿着光轴依次包括正光焦度的第五透镜、正光焦度的第六透镜、正光焦度的第七透镜、负光焦度的第八透镜、正光焦度的第九透镜、正光焦度的第十透镜、正光焦度的第十一透镜、负光焦度的第十二透镜以及负光焦度的第十三透镜，其中，所述第五透镜、所述第六透镜、所述第七透镜、所述第九透镜和第十四透镜为双凸透镜，所述第八透镜、所述第十一透镜、所述第十二透镜和所述第十三透镜为弯月透镜且表面均弯向物面一侧，所述第十透镜为双凹透镜；由物面发出的光能量依次经过液体介质、所述第二透镜的第一透射区、所述第二透镜第二表面、所述第三透镜第一表面后经所述第三透镜第二表面内反射区域反射，返回到所述第三透镜第一表面，再经过所述第二透镜第二表面，到达所述第二透镜第一表面，被所述第二透镜第一表面的内反射区域反射后回到第二透镜第二表面，进入所述第三透镜第一表面，透过所述第三透镜第二表面中心的第二透射区进入所述第四透镜，汇聚到中间像面，中间像面的光能量继续传播，依次经过所述第五透镜、所述第六透镜、所述第七透镜、所述第八透镜、所述第九透镜、所述第十透镜、所述第十一透镜、所述第十二透镜、所述第十三透镜、所述第十四透镜形成平行光发射到光学系统外部。